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SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)
簡要描述:

SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-02-24
  • 訪  問  量:3449

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)
一.    產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二.    產(chǎn)品特點
1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計的精密高速伺服電機(jī)。
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實加速度)。
3.     兩項安全互鎖功能:
(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
(2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。
4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序,隨時調(diào)用。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;
9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制,無需手動操作。
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時間"Z多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間"Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。
11.   標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
三.    技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10~100mm
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時間999.9s
每段旋涂時間9999.9s
時間分辨率0.1s
預(yù)吸片時間99s
解吸片時間99s

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.







PCM話路特性測試儀 型號:GT2B

詳細(xì)介紹  
GT2B型PCM話路特性測試儀主要特點:  
● 手持式話路特性分析儀;  
● 全中文菜單,大屏幕顯示,操作簡便;  
● 可進(jìn)行多任務(wù)工作(可以邊測試邊翻閱以前的記錄);  
● 內(nèi)建測試模板,圖形顯示;  
● 內(nèi)置直流環(huán)路饋電電路和直流環(huán)路保持電路;    
● 符合人體工程學(xué)的設(shè)計,智能導(dǎo)航式中文操作界面,操作簡單方便;  
● 大屏幕液晶顯示,320×240點陣,LED背光;  
● 帶高速微型打印機(jī)和外接打印機(jī)接口;  
● 嵌入式軟件可在線升級。  

基本功能:  
● 點電平、頻率特性、電平特性、量化失真、空閑噪聲、路際串話、回波衰耗、對地平衡度測試;  
● 端對端測試,環(huán)回測試;  
● 單路或30路自動測試,并以報表形式打印    
● 全自動模式、手動模式,全自動模式可選擇測量指標(biāo)中的一項、幾項或全部,測試步長可編程;  
● 可存儲多達(dá)60組測量結(jié)果;*高達(dá)9個測試設(shè)置存儲;并可進(jìn)行掉電記憶;  
● 內(nèi)置發(fā)生器和接收器,輸出口和接收口分別帶有直流環(huán)路饋電電路和直流環(huán)路保持電路,不僅可測E&M二/四線接口,還可測LGE、FXO,LGS、FXS接口;  
● 測試結(jié)果圖形顯示,可以和內(nèi)建的ITU-T標(biāo)準(zhǔn)模板比較,合格與否一目了然;  
● 存儲測量結(jié)果可以上傳至PC機(jī),進(jìn)行分析、整理、歸檔、打印輸出.  
技術(shù)指標(biāo):  
● 發(fā)生器 信號頻率:100Hz~4000Hz,步長10Hz  
    輸出電平:+6~-61dBm0,步長1dB  
    相對電平:+1~-17dBr,步長0.1dBr  
    失 真 度:在1020Hz/0dBm0,≥50dB  
    頻率響應(yīng):±0.1dB  
   輸出阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內(nèi)輸出阻抗為600Ω,回波損耗≥36dB  
   輸出平衡度:在200~3600Hz內(nèi)平衡度≥60dB  
● 接收器  
·電 平 頻率范圍:200Hz~3600Hz  
    電平范圍:+13dB~-78dB,其中 dBm0為 +6~ -61dBm0, dBr為+7~-17dBr  
    測量誤:0dBm0點為±0.2dB,其它各點為±0.3dB  
    參考信號:1020Hz/-10dBm0  
·頻率響應(yīng) 參考信號:1020Hz/-10dBm0  
    頻率范圍:200Hz~3600Hz  
    測量范圍:-60dB~+60dB  
    測量精度:±0.2dB  
·電平特性 參考信號:1020Hz/-10dBm0  
    電平范圍:+5dBm0~-60dBm0  
    測量范圍:-60dB~+60dB  
    測量誤差:±0.2dB  
·空閑噪聲 輔助信號: 關(guān)閉  
    測量范圍:-90dBm0 p~+5dBm0 p,ITU-T加權(quán)  
    測量誤差:-90 ~ -75dBm0p:±2.5dB  
    -75 ~ -70dBm0p:±1.5dB  
    -70 ~ +5dBm0p:±1dB  
·路際串話 主串信號: 1020Hz/0dBm0  
    測量范圍: -90dBm0~+5dBm0  
    誤差范圍: ±1 dB  
·量化失真 參考頻率:820Hz;  
    電平范圍:+5dBm0~-60dBm0  
    測量范圍:0~60dB,ITU-T加權(quán)  
    測量精度:±0.8dB  
·回波衰耗 測試用信號頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平0dBm0  
    測量范圍:0dB~62dB  
    測量誤差:±1dB  
·對地平衡度 測量用信號頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平:0dBm0  
    測量范圍:0dB~82dB  
    測量誤差:±1dB  
·輸入阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內(nèi)輸入阻抗為600Ω,回波損耗大于等于36dB;  
·輸入平衡度:在200~3600Hz內(nèi)平衡度大于等于60 dB;  
·接口平衡:600Ω,200Ω+560Ω//0.1UF ; 200Ω+680Ω//0.1UF;  
·相對電平:-17~+7dBr,步長0.1dBr;  
·直流環(huán)路:IGT動態(tài)阻抗 >100KΩ,環(huán)路電流*大60mA,環(huán)路壓降約為-15V;  
    OGT動態(tài)阻抗>100KΩ,饋電電流恒流22mA。  

其它參數(shù):  
● 供電:  
(1)本儀表用電源適配器  
    INPUT:AC220V 50Hz  
    OUTPUT:DC 9V 1A  
(2)儀表內(nèi)部充電電池  
    4000mAh 6V 鎳氫可充電電池  
    工作時間:6小時  
    充電:關(guān)機(jī)時充電8小時;開機(jī)時充電12小時  
● 打印機(jī):μP40-TS(CH)標(biāo)準(zhǔn)電平串口漢字微型打印機(jī)(選配)  
● 尺寸和重量:  
    長×寬×高:220×162×48mm  
    重 量:1kg  
● 環(huán)境參數(shù):  
    操作溫度: 0~40℃  
    儲藏溫度: -20~+70℃  
    濕 度: 5%~90%非凝結(jié)  



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