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廠家 數(shù)字式電阻率測(cè)試儀/便攜式電阻率檢測(cè)儀型號(hào):M-2

更新時(shí)間:2013-08-08      點(diǎn)擊次數(shù):1099

產(chǎn)品名稱:數(shù)字式電阻率測(cè)試儀/便攜式電阻率檢測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào):M-2
 

數(shù)字式電阻率測(cè)試儀/便攜式電阻率檢測(cè)儀型號(hào):M-2

一·概述
M-2型數(shù)字式電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多種用途綜合測(cè)量裝置,它可以測(cè)量片狀,塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻(也稱方塊電阻)。換上特制的四探針測(cè)試夾具,還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低,中值電阻進(jìn)行測(cè)量。

儀器由主機(jī),測(cè)試探頭(可選配測(cè)試臺(tái))等部分組成,測(cè)試結(jié)果用數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC,嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。測(cè)試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成,定位準(zhǔn)確,游移率較小,壽命長(zhǎng)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。特別適用于要求快速測(cè)量中低電阻率的場(chǎng)合.

本儀器工作條件為:
溫度: 
相對(duì)濕度: 60% ~ 70%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾,不與高頻設(shè)備共用電源

二· 技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍:

電阻率:10 -2  ~ 102Ω-cm
方塊電阻:10 -1  ~ 103Ω/□
電阻:10 -3  ~ 9999Ω



2. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:15mm-100mm
長(zhǎng)(或高)度:≤400mm


3. 測(cè)量方位:
軸向,徑向均可

4. 數(shù)字電壓表
量程:2V
誤差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
zui大分辨力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
顯示:4位數(shù)字顯示,小數(shù)點(diǎn)自動(dòng)顯示

5. 數(shù)控恒流源
電流輸出: 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進(jìn)可調(diào),系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整。
誤差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB

6. 四探針測(cè)試探頭:
探針間距: 1mm
探針機(jī)械游移率:± 1%
探針:碳化鎢,直徑0.5mm
7.電源: 
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
電源適配器:輸入: 220V±10% 50Hz
輸出:DC5V ± 10%
8. 外形尺寸:
主機(jī): 170mm (長(zhǎng)) X 130mm (寬) X50mm(高)

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