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勻膠顯影機

更新時間:2018-09-04      點擊次數:6726

勻膠顯影機 型號:SC100-DE
  SC100-DE勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。 
 主要性能指標: 
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)  
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒  
轉動速度:0-10,000rpm(更高速可選)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm  
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圓晶)  
標準配置兩路噴液系統(顯影液和去離子水) 


 

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